真空箱法氦质谱检漏的原理与系统特点
真空箱法氦质谱检漏的充气回收检漏系统
1．配置与气路控制
真空箱：一般为双工位，两个不锈钢真空箱，开门装置可采用液压方式，或加配重的手动方式。
工件抽空系统：低真空泵及阀门，低真空测量充氮与回收系统：氦气储存罐(高压罐)，氦气回收取罐(低压罐)，主压缩机，辅压缩机，过滤器以及一些高压阀和真空阀门等。
真空箱抽气系统：为自动控制型，由面板、PLC系统(可编程逻辑控制器)，充氦回收系统，真空箱抽气系统的电路部分以及为自动检漏过程提供参考信号的压力传感器和热偶计，同时，实施对整个系统的工作控制，对检漏过程和结果显示。
2.系统检测过程
1)、通过v1、V4，泵系统对工件和真空箱抽真空，如果限定的时间内抽到限定的真空度，此时，电气控制系统关闭V1，打开V2
2)、充氦系统通过V2对工件进行充氦至核定的压力，稳定，关闭V2
3)、关闭V4，打开V3、V5，处在正常工作状态待命的氦质谱检漏仪进行检漏，如果不漏，电气控制系统指挥关断V3、V5，打开V2对氦气进行回收。
4)、关闭V2打开V6对真空箱放气，开启真空箱更换工件。
5)、如果第三点检漏仪检测到超过设定值(漏率)的工件，检漏仪声光报警，将：工作内的氦气回收,对真空箱和管道巾的氦气通过清洁泵抽除，免得影响检漏仪的检测效果和不污染检漏仪。
6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。
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检漏设备在检测时需要留意的事项
检漏设备没有被测物或者是衔接配管的时分，其实也便是不要进行检测。否则的话，它从检漏仪走漏出的很多压缩空气来讲，这样来讲，其实也便是会对人形成很大的损伤；在走漏测验完毕的时分，记住把空气扫除洁净之后，其实也便是要撤除被测物。
否则的话，检漏设备的残留压力可能会形成财产损失或者是会使人受伤；真空系统检漏过程中发现漏孔要及时标记，并复查确认进行焊补，如果采用氢气作为示漏气体，要特别注意安全。检漏设备长期不必的时分，为了安全起见，必定要把主电源或者是空压源进行堵截。其电源电缆以及其配线和配管破损的时分，其实也便是要留意当即堵截咱们的主电源与空压源，这样其实也便是要替换它的新配件。
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，用这种技术检漏，简便易操作，仪器反映灵敏，精度高，不易受其它气体的干扰，以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法，包括了从小件检漏到大件检漏，从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，比较的列举了各种检漏方法，相信在工程实际应用中有很好的参考价值。空调检漏设备真空系统检漏中不论是采用哪种气泡检漏法，应用中需要注意：1、示漏气体的种类与压力会影响检测灵敏度。
