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真空法氦质谱检漏
采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。86×10-5Pa·s，1L液氦气化为标准状态下的氦气体积为700L。其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？
氦检漏有真空法和正压法，正压法又分吸法和累积法等，各种方法对应的设备类型和检测精度都不一样。关于问的在空气中已有氦气的问题，并不太影响精度，因为氦检漏是用对比法，先得有标准试样，然后用测量结果跟标准试样对比，来避免本底造成的误差。利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。质谱仪有精度，到也跟测量方法非常相关。
真空系统和压力系统泄漏测试
真空系统和压力系统应在与其运行条件相同的条件下进行泄漏测试。真空系统用便携式检漏仪。检漏仪连接到真空泵的管路上。使用喷雾探针向潜在泄漏部位施加氦气。如果存在泄漏，氦会进入系统并迅速扩散。检漏仪应在几秒钟内做出反应。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。压力系统可以充入氦气或氦气和氮气的混合物。泄漏测试是通过使用嗅探器探针进行的。
氦检漏服务
受限制空间气体检测时间需要根据现场作业人员的工作时间来提前检测的,这样有很大的好处:
1、提前检测确保整个环境的安全性，解决了现场操作人员的。
2、提前检测气体可以提高工作效率，而不是临时检测耽误时间（需根据具体受限制空间作业需要灵活选择）。
由于受限制空气气体检测时间一般建议在临开工前半个小时左右比较好，所以只要进行作业，就需要提前检测，从而保障安全。
